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光刻机换道超车在路上_光刻超车路上

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发表于 2021-2-26 16:02 |显示全部帖子
2月25日,清华
股市要如何舍得
大学工程物理系唐传祥研究组与合作团队在《自然》上发表研究论文《稳态微聚束原理的实验演示》,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”的首个原理验证实验。
  基于该原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。与之相关的极紫外光
职业之路实盘第66个交易日-收盘分析:狙击手准备,子弹上膛
源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡
不管哪种指标只要有人发出来,一定有她的好处
须臾间,叙及寒温
脖子”难题。
  《自然》评阅人对该研究高度评价,
双良节能正宗第三代半导体
认为“展示了一种新的方法论”,“必将引起粒子加速器和同步辐射领域的兴趣”。《自然》相关评论文章写道:“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光——的特性。SSMB光源未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。”该论文一经刊发,立即引起国内外学术界及产业界的高度关注。
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